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研究与技术
制造流程
硅料品质提升流程
  硅单晶生产工艺流程
  硅片生产工艺流程
  硅多晶生产工艺流程
  电池片生产工艺流程
  组件生产工艺流程
质量监控

 

 
 
  1. 硅料熔化
    将各种原料装入到石英坩埚内,进行抽空检漏,然后在氩气的保护下升温将硅料熔化。

  2. 硅料稳定
    全熔的硅料在高温保持少许时间,然后适当的降温一段时间,进行稳定。

  3. 缩颈/引晶
    将籽晶降到接触液面,调节使其熔接好,调节温度开始缩颈,通过合理的缩颈和增加籽晶长度排除位元错,生产目标直径单晶。

  4. 等径生长
    通过控制提拉速度和熔体的温度,使无位元错的小晶体长大,到目标直径后通过改变提拉速度的方法收肩,让无位元错晶体等径生长。

  5. 收尾
    等到单晶生长到适当的时候,为了避免位错反延,适当的改变提拉速度和温度使直径慢慢变细而脱离液面,使单晶完整无位错。

  6. 退火
    关闭加热电源,适当的提升晶体完成退火。