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| 多晶硅锭规格 |
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| 导电类型 |
制备工艺 |
掺杂 |
电阻率
(Ω．cm) |
| P型 |
直接熔融定向凝固法 |
硼 |
0.5~3 |
| 碳含量
(atoms/cm3) |
氧含量
(atoms/cm3) |
少子寿命
(μs) |
规格 (mm) |
| ≦1X1018 |
≦2×1018 |
≧2 |
690x690x245
840x840x304 |
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| 多晶硅片规格 |
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| 导电类型 |
电阻率
(Ω．cm)
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碳含量
(atoms/cm3) |
氧含量
(atoms/cm3) |
少子寿命 (μs) |
| P型 |
0.5~3 |
≦1×1018 |
≦2×1018 |
≧2 |
| 硅片规格 (mm) |
对角线长度 (mm) |
厚度 (μm) |
TTV (μm) |
翘曲度 (μm) |
| Φ8":156±0.5 |
Φ8":219±0.5 |
180±20 |
≦30 |
≦40 |
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