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研究與技術
製造流程
‧硅料品質提升流程
‧硅單晶生產工藝流程
‧硅片生產工藝流程
‧硅多晶生產工藝流程
‧組件生產工藝流程
質量監控
硅料熔化
將各種原料裝入到石英坩堝內,進行抽空檢漏,然後在氬氣的保護下升溫將硅料熔化。
硅料穩定
全熔的硅料在高溫保持少許時間,然後適當的降溫一段時間,進行穩定。
縮頸/引晶
將籽晶降到接觸液面,調節使其熔接好,調節溫度開始縮頸,通過合理的縮頸和增加籽晶長度排除位元錯,生產目標直徑單晶。
等徑生長
通過控制提拉速度和熔體的溫度,使無位元錯的小晶體長大,到目標直徑後通過改變提拉速度的方法收肩,讓無位元錯晶體等徑生長。
收尾
等到單晶生長到適當的時候,為了避免位錯反延,適當的改變提拉速度和溫度使直徑慢慢變細而脫離液面,使單晶完整無位錯。
退火
關閉加熱電源,適當的提升晶體完成退火。
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