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| 多晶硅錠規格 |
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| 導電類型 |
製備工藝 |
摻雜 |
電阻率
(Ω．cm) |
| P型 |
直接熔融定向凝固法 |
硼 |
0.5~3 |
| 碳含量
(atoms/cm3) |
氧含量
(atoms/cm3) |
少子壽命
(μs) |
規格 (mm) |
| ≦1X1018 |
≦2×1018 |
≧2 |
690x690x245
840x840x304 |
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| 多晶硅片規格 |
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| 導電類型 |
電阻率
(Ω．cm)
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碳含量
(atoms/cm3) |
氧含量
(atoms/cm3) |
少子壽命 (μs) |
| P型 |
0.5~3 |
≦1×1018 |
≦2×1018 |
≧2 |
| 硅片規格 (mm) |
對角線長度 (mm) |
厚度 (μm) |
TTV (μm) |
翹曲度 (μm) |
| Φ8":156±0.5 |
Φ8":219±0.5 |
180±20 |
≦30 |
≦40 |
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